Kalibrering i nanometerskala

Kalibrering ned i nanometerskala kræver helt specielt udstyr. DFM er verdensførende inden for kalibrering af stephøjde og gitterperioder.

Alle målinger er sporbare til en primær normal for længde. Det mikroskop, der anvendes, er udstyret med et laser interferometer og har et måleområde på 500 µm x 500 µm.

Når detaljen og ekspertisen tæller

På grund af DFM's ekspertise inden for feltet nanometrologi hjælper vi flere virksomheder, når detaljen er altafgørende.

"Når vi har metrologi opgaver, som vi ikke selv kan klare internt, så har DFM altid kunnet hjælpe os. DFM har den ekspertise, det udstyr og velviljen til at videndele, som kan føre mange danske virksomheder, som NIL Technology, ud som en betydende spiller på det internationale marked for nano teknologi”. Brian Bilenberg, CTO and Founder, NIL Technology

Produkt info og priser

Du finder information om prisen her

 

Karakterisering af silicium liniegitre

DFM mestrer førende skatterometri-teknologi til opmåling af de essentielle parametre for silicium liniegitre. DFM tilbyder derfor nu karakterisering af silicium liniegitre, udtrykt ved liniebredde (CD), højde samt vinkel af sidevæg.

Teknikken kombinerer skatterometri med avanceret databehandling for at opnå de lave og ganske attraktive niveauer af usikkerhed. Teknikken har ikke de samme dimensionelle begrænsninger som mikroskopi-teknologier som f.eks. AFM eller SEM. Ydelsen er sporbar til primære vinkel- og bølgelængdenormaler.

Se denne tabel hvor vi viser et eksempel på en måling af 6 parametre, samt deres usikkerheder, som vist i figuren. Den opnåede usikkerhed vil afhænge af det specifikke emne og materiale. Kontakt os for mere information, eller for et tilbud.

 

Stephøjde kalibrering

Kalibrering af stephøjde kan foretages ved hjælp af atomic force microscopi , hvor der bliver benyttet et atomic force mikroskop (AFM).

Kalibreringen er sporbar til PTB og er DANAK akkrediteret (akkreditering nr. 255).

 

2D gitter periode kalibrering

Kalibrering af 2D gitter perioder kan foretages med et scanning probe mikroskop (SPM).  

Selve kalibreringen er sporbar til NPL og er DANAK akkrediteret (akkreditering nr. 255).

 

Optisk karakterisering af lagtykkelse og brydningsindeks for multilag tyndfilm

Ellipsometrisk karakterisering af lagtykkelse og brydningsindeks for multilag tyndfilm emner.

Usikkerhederne er mindre end 0,5% for begge parametre.

 

Youngs modul og nano-hårdhedsmåling

Måling af Youngs modul (elasticitetsmodulet) og hårdhedsmåling på de yderste nanometer af en overflade foretages med AFM, Atomic Force Microscope.

Der kan måles på meget små partikler, som f.eks. pulvere eller tynde belægninger, og hårdheden af de yderste 1-100 nm og Youngs modul kan bestemmes.

 

Kalibrering af afstandssensorer

Kalibrering af f.eks triangulærer afstandssensorer, med dynamikområde op til 500 µm.

Kalibrering af afstandssensorer til opfyldelse af myndighedskrav og kvalitetskontrol, når afstandsmålinger indgår i produktion.

Kalibreringen er sporbar til DFM's primærnormal for længde.

 

Udmåling af ruhed

Udmåling af overfladeruhed over længder op til 500 µm og amplituder mindre end 10 µm. Ruhedens størrelse kan måles helt ned til en atomar skala (< 1 nm).

En udmåling kan bruges ved kvalitetskontrol og specifikation af mikromekaniske og mikrooptiske komponeneter så som lab on a chip. Endvidere fint polerede overflader til f.eks. støbeforme brugt til produktion af krævende komponenter, der anvendes til medicinsk diagnostik, farmaci mm.

 

Optisk kalibrering af partikelstørrelse

Kalibrering af partikel diameter med statisk lysspredning. Kan bruges til kalibrering af referencepartikler til Mastersizer, partikelmålere til renrum, miljøovervågning mm.

Kalibreringen er sporbar til lysets bølgelængde og meterdefinitionen.

 

Profil udmåling af optiske gitre

Ud over periode og stephhøjde kan fyldningsgraden/bredden af linjerne udmåles samt sidevæggenes vinkler og ruhed.

Denne nøjagtig udmåling af et optiske gitters profil kan bruges til at optimere den optiske funktion og kvalitetskontrol af det færdige gitter. 

Produkt info og priser

Her finder du produkt datablad (UK version) på nanopartikler

Du finder information om prisen her